技術(shù)編號(hào)：8303560
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)基板盒進(jìn)行清洗的基板盒清洗裝置，該基板盒是在對(duì)轉(zhuǎn)印電子部件的電路圖案時(shí)使用的掩?；寤蚓劝雽?dǎo)體基板等基板進(jìn)行保管或者搬運(yùn)時(shí)使用的基板盒。背景技術(shù)以往，作為這種基板盒清洗裝置，已知例如專利文獻(xiàn)I (日本特開2005-109523號(hào)公報(bào))中公開的基板盒清洗裝置。如圖22所示，在未設(shè)置基板的狀態(tài)下，該基板盒清洗裝置Sa對(duì)由底座Cb和覆蓋該底座Cb的殼Cs構(gòu)成且內(nèi)部容納基板(未圖示)的基板盒C進(jìn)行清洗?；搴星逑囱b置Sa具備形成潔凈的空間的室200...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。