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半導(dǎo)體裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8303567

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本發(fā)明設(shè)及一種半導(dǎo)體裝置,該半導(dǎo)體裝置例如能夠適用于在民用設(shè)備的電源電 路等中使用的功率開關(guān)元件,并由氮化物半導(dǎo)體構(gòu)成。背景技術(shù) W氮化嫁(GaN)為代表的III族氮化物半導(dǎo)體是例如氮化嫁(GaN) W及氮化侶 (A1N)的禁帶寬度在室溫下分別是較大的3. 4eV W及6. 2eV的寬帶隙半導(dǎo)體,具有絕緣擊穿 電場較大、并且電子飽和速度比神化嫁(GaAs)等的化合物半導(dǎo)體、娃(Si)等的電子飽和速 度大的特征。因此,作為高頻用電子器件或者高功率電子器件,...
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