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技術(shù)編號(hào)：8308671

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隨著先進(jìn)封裝技術(shù)向著三維集成、高效率和低成本化方向發(fā)展，靶材的磁控濺射速率和使用功率逐漸增大。鋁及其合金靶材作為重要的先進(jìn)封裝用材料，其濺射功率最高已達(dá)到40kw，這種條件下，要求靶材具有更高的整體強(qiáng)度和更好的導(dǎo)熱性能。銅及銅合金背板由于強(qiáng)度高，導(dǎo)熱性好更適合于高功率濺射條件下鋁合金靶材的使用。鋁靶材與銅背板的焊接方式主要為兩種，第一種為釬焊焊接，這種靶材焊接強(qiáng)度偏低，若焊料的導(dǎo)熱性差，在大功率的濺射條件下可能會(huì)出現(xiàn)開(kāi)焊的情況。第二種焊接方式為機(jī)械咬合方式...
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