技術(shù)編號：8320857
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及選擇性發(fā)射極太陽能電池片的制造技術(shù)，具體地涉及。背景技術(shù)選擇性發(fā)射極(SE)太陽能電池即在金屬柵線(電極)與硅片接觸部位進(jìn)行重?fù)诫s，在電極之間位置進(jìn)行輕摻雜。該工藝既可以保證金屬柵線區(qū)有比較好的接觸電阻，在非柵線區(qū)的輕摻雜又能改善擴(kuò)散后的死層問題。目前大多數(shù)公司采用的SE工藝流程如下清洗制絨，低方阻擴(kuò)散，噴涂掩膜，背刻蝕和正面刻蝕，PECVD鍍膜，印刷燒結(jié)。該工藝流程可以使金屬柵線區(qū)保證高濃度、較深的PN結(jié)，非柵線區(qū)由于正面刻蝕的原因，將硅片去掉...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。