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用于mems換能器的系統(tǒng)和方法技術資料下載

技術編號:8322739

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換能器將信號從一個域(domain)轉換至另一個域,并且常常在傳感器中被使用。日常生活中所見的一種具有換能器的常見傳感器是將聲波轉換為電信號的麥克風。基于傳感器的微機電系統(tǒng)(MEMS, microelectromechanical system)包括使用微加工技術生產的換能器系列。MEMS(比如,MEMS麥克風)通過對換能器中的物理狀態(tài)的變化進行測量以及對將由連接至MEMS傳感器的電子進行處理的信號的傳送來從環(huán)境收集信息。MEMS設備可使用類似于那些用于集...
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