技術(shù)編號：8337350
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在長度測量領(lǐng)域，微米級的一維位置矢量測量系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用，但傳統(tǒng)的差分電容式位置矢量傳感器在測量過程中容易受到其它維度位置矢量變化的干擾，抗干擾能力較差。目前差分電容式的一維位置矢量傳感器多采用測量電容極板之間相對位置變化的方法，來進(jìn)行長度測量，但是被測目標(biāo)在運動過程中常由于導(dǎo)軌直線度不理想，或其它環(huán)境因素干擾而無法保證僅沿著一個維度運動。傳統(tǒng)的差分電容式一維位置矢量傳感器多采用電容極板跟隨被測目標(biāo)運動的方法進(jìn)行測量，其對除被測維度的位置矢量變化敏感外，對于...
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