技術(shù)編號：8341148
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。金屬氧化物的種類繁多且用途廣泛。氧化銦為較普遍的材料，其被用作液晶顯示器等所需要的透明電極材料。在金屬氧化物中存在呈現(xiàn)半導(dǎo)體特性的金屬氧化物。作為呈現(xiàn)半導(dǎo)體特性的金屬氧化物，例如有氧化鎢、氧化錫、氧化銦、氧化鋅等，并且將這些呈現(xiàn)半導(dǎo)體特性的金屬氧化物用作溝道形成區(qū)的薄膜晶體管已經(jīng)是眾所周知的(參照專利文獻(xiàn)I至4、非專利文獻(xiàn)I)。另外，已知金屬氧化物不僅有一元氧化物還有多元氧化物。例如，作為包含In、Ga及Zn的多元氧化物，屬于同系物(homologous ...
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