技術編號：8360463
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及用于控制微機械執(zhí)行器的調(diào)節(jié)器、用于控制微機械執(zhí)行器的控制系 統(tǒng)、微鏡系統(tǒng)和用于控制微機械執(zhí)行器的方法。背景技術 當今在許多應用中均使用微機械執(zhí)行器。例如在被安裝在很小結構空間上的投影 單元中使用微鏡。 在這樣的投影單元中通常使用微鏡，也就是所謂的MEMS(Micr〇-Electro-Mechani cal-System微機電系統(tǒng)）。這樣的MEMS鏡通常具有多個可以相應地被電激發(fā)的機械共振 點--也稱作模態(tài)或者傳遞函數(shù)中的極點。此外，這樣的MEM...
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