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一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法技術資料下載

技術編號:8360655

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在光伏行業(yè),管式PECVD是在硅片表面生長減反射膜的主要設備。其中,石墨舟是裝載硅片的工具。隨著光伏行業(yè)的發(fā)展,對生產(chǎn)過程的信息管理也日趨系統(tǒng)化,需要對每一舟做出的工藝進行記錄,便于產(chǎn)品追溯。于是人為的將每一舟進行編號,在做工藝前,需人工在工控機上進行舟號輸入。傳統(tǒng)的記錄方式有以下兩個缺點1、人工輸入容易出現(xiàn)錯誤,導致產(chǎn)品的追溯性差。2、現(xiàn)有的技術中,石墨舟的自動裝卸片系統(tǒng)已經(jīng)出現(xiàn),人工輸入已無法滿足自動化系統(tǒng)的需求。因此,如何提供一種能精準識別舟號、高效...
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