技術(shù)編號：8363202
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。半導體存儲裝置被設(shè)計成滿足高集成或超小型化等的需求，而這種裝置之一是垂直型半導體裝置。在垂直型半導體裝置中，用作存儲器單元的選擇器件的晶體管最初被開發(fā)成具有垂直溝道。采用環(huán)繞型或全包圍型等來制造垂直晶體管。圖1是說明一般垂直型半導體裝置的布局圖，且圖2和圖3是說明圖1中的半導體裝置的截面圖。具體地，圖2和圖3是沿著圖1的線X1-X2截取的截面圖。參見圖1和圖2，多個柱體103形成在半導體襯底101上。柵絕緣層105形成在每個柱體103的外周緣上具有給定高度...
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