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薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示面板的制作方法技術資料下載

技術編號:8363220

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圖1為現(xiàn)有技術中薄膜晶體管的截面示意圖,如圖1所示,該薄膜晶體管包括位于襯底基板I上的柵極2,位于柵極2上方的柵絕緣層3,位于柵絕緣層3上方的有源層4,位于有源層4上方的源極5和漏極6。當柵極電壓的高于薄膜晶體管的閾值電壓時,源極5和漏極6通過有源層導通,載流子從源極5流向漏極6或者從漏極6流向源極5。當現(xiàn)有技術中的薄膜晶體管處于工作狀態(tài)時,在源極5與柵極2之間以及漏極6與柵極2之間均會存在較大的寄生電容,該寄生電容會對有源層中載流子的運動產(chǎn)生較大干擾,從...
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