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具備低漏電高耐壓終端結(jié)構(gòu)的臺(tái)面二極管及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8363223

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半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性與半導(dǎo)體表面性質(zhì)有很密切的關(guān)系。為了避免周圍 環(huán)境氣氛和其他外界因素對(duì)半導(dǎo)體器件性能的影響,需要在器件周圍加入終端結(jié)構(gòu)。對(duì)半 導(dǎo)體表面進(jìn)行終端保護(hù)可以減少器件表面的各種電荷、增強(qiáng)器件對(duì)外來離子沾污的阻擋能 力、控制和穩(wěn)定半導(dǎo)體表面的電特性、保護(hù)器件以及防止器件受到機(jī)械和化學(xué)損傷。 對(duì)于臺(tái)面結(jié)構(gòu)的二極管尤其需要終端及鈍化保護(hù)。當(dāng)臺(tái)面表面存在正電荷層或 負(fù)電荷層時(shí),在結(jié)的邊緣都會(huì)引起結(jié)表面的空間電荷區(qū)擴(kuò)展,這種擴(kuò)展達(dá)到一定程度會(huì)引 起...
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