技術編號：8367446
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。為了制造半導體裝置、液晶顯示裝置等電子部件，而提供了各種基板處理裝置?；逄幚硌b置是按訂單設計生產(chǎn)型的產(chǎn)品，即使是同一機型，各個產(chǎn)品的硬件、機構等也經(jīng)常不同。因此，當生成用于控制基板處理裝置的軟件時，例如專利文獻I所記載的那樣，生成配置數(shù)據(jù)。即，使作為軟件核心的計算機程序通用于各種基板處理裝置，另一方面，通過配置，根據(jù)各裝置的發(fā)送地、用戶要求、產(chǎn)品規(guī)格等來切換計算機程序的各個功能。此處，“產(chǎn)品規(guī)格”是由構成產(chǎn)品的構成部件和各部件的功能來決定的。而且，在本說...
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