技術編號：83733
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及一種包括超硬材料的半導體裝置，如鉆石或類鉆材料，以及形成這種裝置的方法。更進一步地，本發(fā)明利用氣相沉積來制造包括鉆石材料的半導體裝置。 背景技術鉆石或類鉆材料有很多特性，如耐磨、導熱、電絕緣、可傳導聲音，不易被腐蝕，使得它們適于各種工業(yè)應用。為此，鉆石或類鉆材料被用于制成用于各種用途的工具，如鋸條、鉆頭以及如表面聲波篩檢程式之電子裝置。將鉆石及類鉆材料制成工具的方法包括一些已知的制程，如化學氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)。 各種CVD技術已經(jīng)用于有關將鉆石或類鉆材料沉積在基層上的制程...
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