技術(shù)編號(hào)：8380031
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 通常，用于半導(dǎo)體裝置的表面保護(hù)層和夾層絕緣膜使用具有優(yōu)異的耐熱性、電特 性、機(jī)械特性等的聚酰亞胺樹脂或聚苯并噁唑樹脂。近來，這些樹脂已被用作光敏聚酰亞胺 前體組合物或聚苯并噁唑前體組合物。將組合物涂布在用于半導(dǎo)體或顯示器的基板上，通 過紫外（UV)線進(jìn)行圖案化、顯影、以及熱固化，以容易地形成表面保護(hù)層、層間絕緣層等。 光敏聚酰亞胺前體組合物或聚苯并噁唑前體組合物可以應(yīng)用為其中曝光部分被顯影和溶 解的正型，以及其中曝光部分被固化和保留的負(fù)型。由于無毒的堿性...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。