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鈦酸鍶鋇(BaxSrhT13OKxO, BST)陶瓷材料由于具有居里溫度可調(diào)、介電常數(shù)高、熱釋電系數(shù)高等特點(diǎn)，使其成為熱釋電型非制冷紅外焦平面用重要的候選材料。在制作非制冷紅外焦平面器件時(shí)，BST熱釋電陶瓷要先減薄至20 μπι以下，加上一定的偏置電場(chǎng)后才能工作。如果陶瓷的晶粒尺寸太大，則在加工過(guò)程中某些晶粒被拔出后，會(huì)留下較大的孔洞，引起后續(xù)加工中各種雜質(zhì)或?qū)щ娢镞M(jìn)入孔洞，陶瓷的絕緣性能會(huì)變差，電導(dǎo)率很高，漏電流過(guò)大，無(wú)法正常使用。同時(shí)，由于陶瓷的介電與...
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