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一種緊湊型偏轉(zhuǎn)會聚離子束的靜電透鏡的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8396900

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通過電場(電位)來調(diào)節(jié)離子束偏轉(zhuǎn)和會聚是一種應(yīng)用廣泛的方法。在質(zhì)譜中,常見的是經(jīng)常采用這種方法來實(shí)現(xiàn)不同入射能量的離子束以合理的偏轉(zhuǎn)角度進(jìn)入反射鏡或者檢測器中。為了提高較大發(fā)散離子束的接收立體角,在質(zhì)譜中還經(jīng)常加入會聚透鏡系統(tǒng),將離子束聚焦于特定焦面。實(shí)現(xiàn)以上功能的經(jīng)典方法是分別采用偏轉(zhuǎn)板,控制離子束偏轉(zhuǎn)至合適角度。如果要進(jìn)一步會聚離子束于特定的焦面,則需要在偏轉(zhuǎn)板之前或者之后加入透鏡系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。然而,這樣采用的是一種分立部件的方法,增大了離子傳輸系統(tǒng)的體...
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