技術(shù)編號(hào)：8399022
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 機(jī)電系統(tǒng)（EMS)包含具有電及機(jī)械元件的裝置、激活器、換能器、傳感器、例如鏡 面及光學(xué)膜等光學(xué)組件及電子裝置。EMS裝置或元件可以多種尺度制造，包含（但不限于） 微尺度及納米尺度。舉例來說，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)裝置可包含大小在約一微米到數(shù)百微米 或以上的范圍內(nèi)的結(jié)構(gòu)。納米機(jī)電系統(tǒng)（NEMS)裝置可包含大小小于一微米（包含（例如） 小于數(shù)百納米的大?。┑慕Y(jié)構(gòu)。可使用沉積、蝕刻、光刻及/或蝕刻掉襯底及/或所沉積材 料層的部分或添加層以形成電及機(jī)電裝置的其它...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。