技術(shù)編號(hào)：8411044
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。風(fēng)速風(fēng)向傳感器在氣象監(jiān)測、天氣預(yù)報(bào)、汽車工業(yè)、生物醫(yī)藥、機(jī)場起降條件測試、室內(nèi)環(huán)境控制等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。目前，一維、二維熱式風(fēng)速計(jì)發(fā)展比較成熟，具有測量精度高、響應(yīng)時(shí)間快、功耗低、批量化制造、尺寸小等優(yōu)點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于日常生產(chǎn)生活中。對(duì)于三維風(fēng)速風(fēng)向的測量，目前應(yīng)用較多的是三維超聲風(fēng)速計(jì)，其測量量程大，測量精度高，但設(shè)備價(jià)錢昂貴。發(fā)明內(nèi)容發(fā)明目的為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種基于MEMS技術(shù)的三維風(fēng)速風(fēng)向傳感器及其制備方法，三維風(fēng)速可以分解...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。