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真空貼合設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8411498

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在TFT-1XD行業(yè)的封裝工藝中,通常采用真空貼合設(shè)備(Vacuum Aligner System,簡稱VAS)將涂布Sealant (密封劑)的上基板玻璃和涂布LC (液晶)的下基板玻璃在真空條件下進行對位貼合,從而得到貼合基板。如圖1所示,真空貼合設(shè)備通常包括固定于基座上的下基臺20和與下基臺20配合的上基臺10。上基臺10中心部設(shè)有上腔室11,上腔室11內(nèi)安裝有上吸附基板12 (Table),上吸附基板12上設(shè)置有可上下移動的多個吸附桿13 (Sup...
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