技術(shù)編號:8415106
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于步進(jìn)式壓電作動器,具體涉及一種。背景技術(shù)壓電作動器在航天、航空、醫(yī)療等領(lǐng)域已有很廣泛的應(yīng)用。其中步進(jìn)式作動器模仿自然界尺蠖的爬行方式,通過對壓電疊堆微小步距位移的積累,可實(shí)現(xiàn)小步距、理論行程無限大、高分辨率的精密雙向步進(jìn)運(yùn)動。以往步進(jìn)式作動器雖能完成大位移的輸出,但無法測量輸出位移的大小。在大多數(shù)工程應(yīng)用中作動器輸出位移需要被實(shí)時(shí)監(jiān)測,通常做法是外置位移傳感器。外置位移傳感器的方式一方面增加了成本,另一方面由于一般位移傳感器的量程與分辨率成反比,...
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