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封裝結(jié)構(gòu)的交互作用的測(cè)試方法和測(cè)試裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8430625

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本發(fā)明涉及封裝結(jié)構(gòu)的可靠性測(cè)試,特別涉及一種封裝結(jié)構(gòu)的交互作用的測(cè)試方 法和測(cè)試裝置。背景技術(shù) 隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展,目前半導(dǎo)體器件的特征尺寸已經(jīng)變得非常小,希望在 二維的封裝結(jié)構(gòu)中增加半導(dǎo)體器件的數(shù)量變得越來(lái)越困難,因此三維封裝成為一種能有效 提高芯片集成度的方法。目前的三維封裝包括基于金線鍵合的芯片堆疊(Die Stacking)、 封裝堆疊(Package Stacking)和基于娃通孔(Through Silicon Via,TSV)的三維(3...
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