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半導(dǎo)體器件的形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8432107

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隨著集成電路制造技術(shù)的發(fā)展,集成電路的集成度不斷增加,集成電路的特征尺寸也不斷減小,而對(duì)于集成電路中各電器元件的質(zhì)量要求也越發(fā)嚴(yán)格。集成電路制備工藝也不斷革新,以提高制得的集成電路電器元件的質(zhì)量。如在COMS的柵極制備工藝中,后柵極(gate last)工藝已逐漸取代前柵(gatefirst)工藝以提高柵極的質(zhì)量。所謂前柵工藝是指,在半導(dǎo)體襯底的介質(zhì)層內(nèi)形成開(kāi)口后,直接于開(kāi)口內(nèi)填充柵極材料,形成柵極,之后進(jìn)行源漏注入,并進(jìn)行退火工藝以激活源漏中的離子,從而...
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