技術(shù)編號：8432163
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。半導(dǎo)體器件應(yīng)用于多種電子應(yīng)用，諸如應(yīng)用于個人計算機、手機、數(shù)碼相機以及其他電子設(shè)備。半導(dǎo)體器件通常通過以下方式制造在半導(dǎo)體襯底上順序沉積絕緣層或介電層、導(dǎo)電層及半導(dǎo)體材料層；并且使用光刻將多個材料層圖案化以在其上形成電路組件和元件。由于多種電子組件(例如，晶體管、二極管、電阻器、電容器等)的集成度的提高，半導(dǎo)體工業(yè)經(jīng)歷了快速發(fā)展。在多數(shù)情況下，集成度的這種提高源自對半導(dǎo)體工藝節(jié)點的縮小(例如，使工藝節(jié)點朝向次20nm節(jié)點縮小)。隨著最近對小型化、更高速度和...
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