技術(shù)編號：8459723
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在向處理裝置等輸送基板時，如柔性基板的那樣比較薄的基板存在產(chǎn)生翹度的情況，存在其輸送困難的情況。因此，在由載體保持了基板的狀態(tài)下向輸送目的地輸送的方案已被提出。在此情況下，需要從載體僅將基板取出向處理裝置等移載的結(jié)構(gòu)。在日本特開2010-272650號公報中，公開了一種將基板的罩卸下并由銷頂起基板而取出的裝置。在日本特開2010-272650號公報的裝置中，需要去掉罩進(jìn)行移動的工序和取出基板進(jìn)行移動的工序的2個工序，在基板的移載的效率的方面存在改善的余地。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。