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肖特基勢壘二極管及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8463154

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使用III族氮化物膜的肖特基勢皇二極管(下文中也被稱為SBD)的優(yōu)異性表現(xiàn)在高頻特性、擊穿電壓特性、低開關(guān)損耗等,因此近年來受到關(guān)注。例如,日本專利特許公開N0.2006-156457 (PTD I)公開了使用生長在硅襯底上的III族氮化物膜。引用列表專利文獻PTDl日本專利特許公開 N0.2006-156457發(fā)明內(nèi)容技術(shù)問題關(guān)于日本專利特許公開N0.2006-156457 (PTDl)中公開的SBD (肖特基勢皇二極管),SBD中使用的III族氮化物膜...
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