技術(shù)編號：8471464
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。TEM (Transmiss1n Electron Microscope,透射電子顯微鏡)是半導(dǎo)體制造業(yè)中用于檢測組成器件的薄膜的形貌、尺寸及特征的一個非常重要工具，其以高能電子束作為光源，用電磁場作透鏡，將經(jīng)過加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子和樣品中的原子因碰撞改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像。TEM的一個突出優(yōu)點是具有較高的分辨率，可觀測極薄薄膜的形貌及尺寸。樣品制備是TEM分析技...
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