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技術(shù)編號(hào)：8471466

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在半導(dǎo)體制造業(yè)中，有各種各樣的檢測(cè)設(shè)備，其中EM是用于檢測(cè)組成器件的薄膜的形貌、尺寸及特性的一個(gè)重要工具。常用的EM包括TEM(Transmiss1n ElectronMicroscope透射電子顯微鏡)和SEM (Scanning Electron Microscope掃描電子顯微鏡)。TEM的工作原理是將需檢測(cè)的樣片以切割、研磨、離子減薄等方式減薄，然后放入TEM觀測(cè)室，以高壓加速的電子束照射樣片，將樣片形貌放大、投影到屏幕上，照相，然后進(jìn)行分析，TE...
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