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溝槽型功率器件柵氧化層的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8488843

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密集溝槽是溝槽型功率器件常用的結(jié)構(gòu)。制備這些器件需要在溝槽的表面上覆蓋柵氧化層,然后填充導(dǎo)電多晶硅以形成柵極。具體的,現(xiàn)有的一種柵氧化層的制備方法包括通過在半導(dǎo)體襯底的表面上形成圖案化掩膜,然后根據(jù)所述圖案化掩膜,對(duì)所述半導(dǎo)體襯底進(jìn)行刻蝕,形成溝槽,進(jìn)而在所述溝槽的表面上生長(zhǎng)柵氧化層。但是,上述方案通常會(huì)對(duì)溝槽的內(nèi)壁造成損傷,形成損傷層,并在溝槽的底部形成突起。而對(duì)功率器件而言,損傷層和底部突起則會(huì)降低后續(xù)在溝槽表面生長(zhǎng)的柵氧化層的質(zhì)量,繼而影響器件的器件...
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