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一種高精度傳感器校驗裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8497905

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對水下物體表面剪應(yīng)力的測量能為很多流體力學(xué)問題的研宄提供非常有價值的 信息,比如湍流轉(zhuǎn)捩、流動分離、摩擦阻力和表面流態(tài)分布等。而在使用傳感器測量表面剪 應(yīng)力之前,首先需要對傳感器進行標(biāo)定。 現(xiàn)有的表面剪應(yīng)力傳感器標(biāo)定方法幾乎都是針對空氣中測量剪應(yīng)力的MEMS傳感 器,如2005年《第一屆近代實驗空氣動力學(xué)會議論文集》260-264頁"基于MEMS天平的摩 擦應(yīng)力直接測量試驗技術(shù)研宄"一文中介紹了中國空氣動力研宄與發(fā)展中心研制的一種單 晶硅材料梳狀浮動元件...
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