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基板處理裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8499273

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作為基板處理裝置,已知逐張地處理半導(dǎo)體晶片等基板的單張式的裝置。這種裝置具有多個(gè)處理單元;搬運(yùn)機(jī)器人,能夠向各處理單元搬運(yùn)基板;控制部。通過控制部控制多個(gè)處理單元和搬運(yùn)機(jī)器人,對(duì)多個(gè)基板依次執(zhí)行基板處理。在該情況下,一般地,將控制部作為主控制裝置,將各處理單元的驅(qū)動(dòng)部、搬運(yùn)機(jī)器人作為設(shè)置為主控制裝置的相對(duì)下位的控制等級(jí)的多個(gè)從屬裝置,主控制裝置通過主從方式控制多個(gè)從屬裝置。專利文獻(xiàn)1JP特開2010-123709號(hào)公報(bào)例如,在專利文獻(xiàn)I中,在各處理單元中用...
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