技術(shù)編號(hào):8499273
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。作為基板處理裝置,已知逐張地處理半導(dǎo)體晶片等基板的單張式的裝置。這種裝置具有多個(gè)處理單元;搬運(yùn)機(jī)器人,能夠向各處理單元搬運(yùn)基板;控制部。通過控制部控制多個(gè)處理單元和搬運(yùn)機(jī)器人,對(duì)多個(gè)基板依次執(zhí)行基板處理。在該情況下,一般地,將控制部作為主控制裝置,將各處理單元的驅(qū)動(dòng)部、搬運(yùn)機(jī)器人作為設(shè)置為主控制裝置的相對(duì)下位的控制等級(jí)的多個(gè)從屬裝置,主控制裝置通過主從方式控制多個(gè)從屬裝置。專利文獻(xiàn)1JP特開2010-123709號(hào)公報(bào)例如,在專利文獻(xiàn)I中,在各處理單元中用...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。