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垂直存儲(chǔ)器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8499324

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近來(lái),已經(jīng)開(kāi)發(fā)了包括相對(duì)于襯底的表面反復(fù)地層疊的多個(gè)存儲(chǔ)單元的垂直存儲(chǔ)器件,以實(shí)現(xiàn)更高的集成度。在垂直存儲(chǔ)器件中,溝道可以從襯底的表面豎直地突出,圍繞溝道的柵線和絕緣層可以被反復(fù)地層疊。隨著垂直存儲(chǔ)器件的集成度變得更大,存儲(chǔ)單元的層疊數(shù)和溝道的高度可以增大。于是,會(huì)期望提高垂直存儲(chǔ)器件的工作可靠性。發(fā)明內(nèi)容示例實(shí)施方式涉及具有提高的可靠性的垂直存儲(chǔ)器件。根據(jù)示例實(shí)施方式,一種垂直存儲(chǔ)器件包括下絕緣層、在下絕緣層上的低電阻層、在低電阻層上的溝道層、在溝道層上...
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