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一種電弧法制備納米ito粉體的裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8506983

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銦是一種重要的稀散金屬元素,沒有單獨(dú)的礦床,主要與錫、鋅、銅等有色金屬伴生,全世界資源總儲量僅約8000噸,其中銦錫氧化物(Indium-Tin-Oxide,ΙΤ0)是銦的最大宗消費(fèi),占總消費(fèi)的七成以上,即是以ITO透明導(dǎo)電薄膜的形式,應(yīng)用于液晶顯示、光電子器件和太陽能電池板的透明電極等領(lǐng)域。目前工業(yè)上生產(chǎn)ITO薄膜主要是用ITO靶材磁控濺射鍍膜的方法,但是靶材濺射鍍膜利用率一般為30%,剩余部分成為廢靶,此外在靶材生產(chǎn)過程中也必然產(chǎn)生邊角料、切肩等廢品,...
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