技術(shù)編號：8513552
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。現(xiàn)有等離子體處理裝置，大多是通過在反應(yīng)腔室形成等離子體來對載物臺上所載物進(jìn)行等離子體處理。通常是使用表面平整的噴淋頭作為上極板和表面平整的載物臺做為下電極，從噴淋頭以噴淋狀進(jìn)行工藝氣體的供給，從載物臺周圍均勻排氣，通過控壓裝置穩(wěn)壓后，在上下極板間施加電壓，形成等離子體來進(jìn)行等離子體處理。在上述工藝過程中，相對來說氣體運輸方向為由載物臺中心向外圍運輸，容易造成載物臺中心的氣體與外圍氣體分布不均，從而造成等離子分布的不均勻。另外，等離子體受電場控制在兩極板的接...
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