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生長氮化鎵基半導體層的方法及用其制造發(fā)光器件的方法技術資料下載

技術編號:8516151

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通常,諸如氮化嫁(GaN)的III族氮化物具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和直接躍遷型能帶 結構。因此,為了應用于發(fā)射可見光和紫外光的諸如發(fā)光二極管或激光二極管的發(fā)光器件, 已經(jīng)對氮化嫁化合物半導體進行了廣泛地研究。具體地,使用氮化銅嫁(InGaN)的藍色和 綠色發(fā)光二極管已經(jīng)被用于諸如大尺寸真彩色平板顯示裝置、信號燈、室內照明、高密度光 源、高分辨率輸出系統(tǒng)、光通信等的范圍廣泛的領域中。 在半導體器件的制造中,氮化嫁化合物半導體層通常通過金屬有機化學氣相沉積 (MO...
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