技術(shù)編號：8524432
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。直拉法生長單晶硅是目前生產(chǎn)單晶硅最廣泛的應用技術(shù)，而直拉單晶爐內(nèi)的排氣系統(tǒng)是重要的系統(tǒng)之一，其直接影響單晶的成晶。排氣的主要作用是帶走爐內(nèi)揮發(fā)物，而排氣不暢則導致以下幾點第一、影響爐內(nèi)揮發(fā)物的排出，進而影響單晶的成晶率；第二、排氣不暢可引局部氣體對流，渦流，從而引起機械震動，進而導致液面震動，最終不利于單晶生長。因此，需要改善排氣裝置，減少或避免因排氣不暢對單晶生長的影響，進而減少或避免工時浪費，提高工時利用率，提高產(chǎn)能，降低成本。中國專利CN102312...
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