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一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8527050

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目前,制作陣列基板的工藝包括在玻璃基板上進(jìn)行成膜、曝光、刻蝕等步驟,而玻璃基板的表面通常存在一些灰塵、油脂等雜質(zhì),這些雜質(zhì)會(huì)影響玻璃基板上成膜的質(zhì)量,為了保證玻璃基板上成膜的質(zhì)量,在進(jìn)行成膜步驟之前,需要將玻璃基板浸入清洗液中進(jìn)行清洗,洗去雜質(zhì)。清洗液在使用到一定程度后需要更換,以防止出現(xiàn)玻璃基板的清潔結(jié)果較差的問(wèn)題。在現(xiàn)有技術(shù)中,往往根據(jù)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)玻璃基板的塊數(shù)來(lái)決定是否更換清洗液,當(dāng)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)玻璃基板的塊數(shù)達(dá)到規(guī)定塊數(shù)時(shí),更換清洗液。但是由于每塊玻...
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