技術(shù)編號(hào):8529315
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)基板進(jìn)行處理的基板處理裝置。作為成為處理對(duì)象的基板,例如包括半導(dǎo)體晶片、液晶表示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED (Field Emiss1nDisplay場(chǎng)發(fā)射顯示器)用基板、光盤(pán)用基板、磁盤(pán)用基板、光磁盤(pán)用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太陽(yáng)電池用基板等。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置和液晶表示裝置等的制造工序中,使用對(duì)半導(dǎo)體晶片或液晶表示裝置用玻璃基板等基板進(jìn)行處理的基板處理裝置。在日本特開(kāi)2010-56218號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了對(duì)基板一張一張進(jìn)行處...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。