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半導(dǎo)體成像器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):85298

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及具有以矩陣狀圖案設(shè)置的多個(gè)像素的半導(dǎo)體成像器件。 背景技術(shù)通常,半導(dǎo)體成像元件大致分為CCD圖像傳感器和CMOS圖像傳感器。作為CMOS圖像傳感器的一種,有一種包括四個(gè)晶體管(Tr)和一個(gè)光電二極管(PD)的4Tr+1PD式4Tr-APS(有源像素傳感器),該傳感器形成單個(gè)像素。 圖24A和24B示出構(gòu)成4Tr-APS的像素的結(jié)構(gòu)。 如圖24A和圖24B所示,在4Tr-APS中,光電二極管(PD)通過(guò)NP結(jié)將接收到的光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換并將所產(chǎn)生的信號(hào)電荷(電子)積聚在n型擴(kuò)散層中。浮動(dòng)擴(kuò)散(FD)...
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