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一種電容式等離子體電極的上電極的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8546765

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本發(fā)明涉及一種等離子體電極,特別涉及一種帶有內(nèi)部加熱器的電容式等離子體電極的上電極。背景技術(shù)等離子體實(shí)驗(yàn)研宄的起步時(shí)期可追溯到19世紀(jì)30年代,英國的M.法拉第以及其后的J.J湯姆孫、J.s.E湯森德等人相繼研宄氣體放電現(xiàn)象,1879年英國的W.克魯克斯使用“物質(zhì)第四態(tài)”這個名詞描述氣體放電管中的電力氣體,到了 1928年美國的1.朗繆爾首先引入等離子體這個詞。目前,等離子體的應(yīng)用已經(jīng)擴(kuò)展到許多領(lǐng)域,如機(jī)械加工、化工、冶金、表面處理、氣動熱模擬等等。在新能...
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