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半導(dǎo)體光集成電路的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8548298

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作為在半導(dǎo)體基板(半導(dǎo)體芯片)形成電氣配線來傳輸電力或電氣信號(數(shù)字信號)的半導(dǎo)體集成電路,存在如下難以避免的問題由于電氣配線中的電阻的存在而產(chǎn)生的信號衰減;以及由于從并行設(shè)計的配線漏出的電場而產(chǎn)生的感應(yīng)干擾或串擾。作為解決這些問題的技術(shù),提出了在基板上形成光波導(dǎo)并通過光傳輸信號的光集成電路(光波導(dǎo)模塊)(例如參照下述專利文獻I)。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1日本特開2012-78609號公報發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的技術(shù)課題在光集成電路中,需要有效地進行安裝...
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