技術(shù)編號(hào):8576311
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。多晶硅生產(chǎn)過程中,經(jīng)常需要使用壓縮機(jī)來給氫氣增壓以實(shí)現(xiàn)氫氣輸送增壓,其中,往復(fù)活塞式壓縮機(jī)使用的較多,由于壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)部分需要潤滑油潤滑,但是多晶硅生產(chǎn)中是禁油的,所以防止油氣互竄裝置在多晶硅生產(chǎn)中起著非常重要的作用。目前,在往復(fù)活塞式壓縮機(jī)上有刮油環(huán)組件,刮油環(huán)組件包括有刮油環(huán),密封填料,大部分的油由刮油環(huán)從活塞桿上刮下油隨回油孔流回曲軸箱,但是在刮油環(huán)及密封填料磨損后還是會(huì)有一部分油會(huì)由活塞桿帶入壓縮缸,從而造成氫氣的污染,并進(jìn)一步影響多晶硅生產(chǎn)產(chǎn)品的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。