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一種用于離子源的柵網(wǎng)裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8581737

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離子束刻蝕是利用低能量平行Ar+離子束對(duì)基片表面進(jìn)行轟擊,將基片表面未覆蓋掩膜的部分濺射出,從而達(dá)到選擇刻蝕的目的。離子束刻蝕是純物理刻蝕過(guò)程,在各種常規(guī)刻蝕方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特點(diǎn),并且可以對(duì)絕大部分材料進(jìn)行刻蝕,例如金屬、合金、氧化物、化合物、混合材料、半導(dǎo)體、絕緣體、超導(dǎo)體等材料。傳統(tǒng)離子源是利用一根連接桿將加速法蘭、抑制法蘭與放電室連接在一起,由于燈絲的使用壽命短,需要經(jīng)常拆卸離子源進(jìn)行跟換。因?yàn)橐种品ㄌm與加速法蘭是單獨(dú)裝配的,手工裝...
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