技術(shù)編號：86171
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及集成電路器件，且更具體而言，涉及一種包括電容器的集成電路器件及其制造方法。 背景技術(shù)根據(jù)它們的結(jié)結(jié)構(gòu)，電容器例如可以被分為金屬氧化物硅(MOS)電容器、PN結(jié)電容器、多晶硅絕緣體多晶硅(PIP)電容器、金屬絕緣體金屬(MIM)電容器等。具體而言，除了MIM電容器以外的電容器使用單晶或多晶硅作為至少一種電極材料。使用單晶或多晶硅作為電極材料可以導(dǎo)致電容器電極的電阻減小。而且，當(dāng)將偏壓施加到單晶或多晶硅電極時，可以形成耗盡區(qū)且電壓可能變得不穩(wěn)定，這可能使得難于將電容保持在相同的水平。 因此，MI...
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