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多晶硅氫化爐是西門子法生產(chǎn)多晶硅工藝中的主要裝備，主要通過對氫化爐爐內(nèi)安裝的加熱體通電發(fā)熱，并使四氯化硅和氫氣在高溫下進(jìn)行反應(yīng)，得到三氯氫硅，氫化爐在運(yùn)行過程中，經(jīng)常會出現(xiàn)斷電或物料泄漏的狀況，生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性較差，造成生產(chǎn)效率低下，造成這一狀況的主要原因是缺少四氟套保護(hù)裝置，所以迫切需要一種裝置改進(jìn)這種狀況。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種分體式四氟套絕緣密封裝置，能夠在氫化爐生產(chǎn)過程中保護(hù)四氟套在高溫下不被燒蝕，增加四氟套使用壽命。本實(shí)用新型由...
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