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一種熱場協(xié)調(diào)控制的提拉法晶體生長爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8635071

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提拉法,又稱直拉法、Cz法,是一種目前最流行的塊狀單晶體生長技術(shù),傳統(tǒng)的提拉法裝置由加熱系統(tǒng)(加熱、控溫和保溫)、氣氛控制系統(tǒng)(真空、氣路、充氣)、傳動系統(tǒng)(提拉、旋轉(zhuǎn))等構(gòu)成。該方法的優(yōu)勢在于可測試和觀察生長界面、定向籽晶、“縮頸”技術(shù)、“收尾“技術(shù)、可旋轉(zhuǎn)坩禍和晶體,因而控制方便,能獲得較快的生長速率和很高的產(chǎn)品性能均勻性,成品率遠(yuǎn)大于其它晶體生長方式。該方法的劣勢在于坩禍的污染、流動導(dǎo)致系統(tǒng)的非穩(wěn)定性等,除此之外,生長界面附近較大的溫度梯度保證了高生...
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