技術(shù)編號(hào)：86573
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種CMOS圖像傳感器的制造方法。更具體而言，本發(fā)明涉及一種CMOS圖像傳感器的制造方法，其能夠在形成光電二極管時(shí)防止高能注入的摻雜劑滲透到柵電極的下部，從而防止晶體管的電流泄漏與閾值電壓的變化。 背景技術(shù)通常，圖像傳感器是一種用于將光學(xué)圖像轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的半導(dǎo)體器件，并且其分為電荷耦合器件(CCD)和CMOS圖像傳感器。 CCD具有多個(gè)布置成矩陣形式的光電二極管(PD)，以將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。CCD包括多個(gè)垂直電荷耦合器件(VCCD)，其設(shè)置于矩陣內(nèi)垂直布置的光電二極管之間，以便當(dāng)從各光電二極...
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