技術(shù)編號：8666404
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本實(shí)用新型涉及精密制造、精密測量、精密定位領(lǐng)域，特別涉及一種微納操作環(huán)境 下的精密宏動并聯(lián)定位系統(tǒng)。背景技術(shù) 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，精密制造、精密測量及精密定位技術(shù)在科研前沿和工業(yè)生 產(chǎn)中占據(jù)越來越重要的地位。如在生物工程，精密機(jī)械工程或材料科學(xué)領(lǐng)域中，常需使用微 納操作系統(tǒng)對樣本進(jìn)行研究。微納操作系統(tǒng)包括觀測器，定位平臺與操縱器，現(xiàn)有商用觀測 器如掃描電子顯微鏡（SEM)等，其配備的定位平臺常采用串聯(lián)結(jié)構(gòu)，精度低、易累積誤差， 不滿足高精密操作的要求。 ...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。