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金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8680912

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隨著工業(yè)的快速發(fā)展,環(huán)境的污染問(wèn)題也越來(lái)越嚴(yán)重,例如,汽車(chē)尾氣中的CO、NOx, SOx等有害氣體,室內(nèi)裝修中存在的甲醛、甲苯等,煤礦中泄漏的甲烷氣體,化工生產(chǎn)中產(chǎn)生的易燃、易爆、毒害性氣體等,這些有毒氣體對(duì)人們的身體健康造成了嚴(yán)重的威脅。為了確保人身安全和防患于未然,人們研制了各種檢測(cè)方法和檢測(cè)儀器,其中,氣體傳感器在家居生活、排放監(jiān)測(cè)、航空、醫(yī)療、衛(wèi)生等領(lǐng)域發(fā)揮著重大的作用。目前氣體傳感器種類(lèi)繁多,應(yīng)用范圍廣泛,大致可分為半導(dǎo)體式、電化學(xué)式、接觸燃燒式...
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