技術(shù)編號：8696303
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 電容位移傳感器作為一種傳統(tǒng)非接觸式傳感器，主要應(yīng)用于位移、角度、振動、加 速度、壓力等方面測量。采用差分電容結(jié)構(gòu)能大大提高傳感器的分辨率水平，減小寄生電容 的影響，但是它作為一種相對測量傳感器需要準(zhǔn)確標(biāo)定其格值系數(shù)后才能用于測量位移信 號，而傳統(tǒng)機(jī)械標(biāo)定方法與標(biāo)定裝置無法滿足該種高分辨率和小量程的差分電容位移傳感 模塊的需求指標(biāo)。 差分電容位移傳感器是一種典型的高精度位移傳感器，其基本原理是利用良好導(dǎo) 電體為動極板注入頻率為10曲Z-100曲Z、幅值為0...
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